Hexafluoruro de wolframio

Hexafluoruro de wolframio
Wolframio(VI) fluoruro
Modelo de barras y bolas del hexafluoro de wolframio
General
Fórmula semidesarrollada	WF6
Fórmula molecular	?
Identificadores
Número CAS	7783-82-6[1]​
InChI InChI=InChI=1S/6FH.W/h6*1H;/q;;;;;;+6/p-6 Key: NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H
Propiedades físicas
Apariencia	incoloro
Densidad	12 400 kg/m³; 12,4 g/cm³
Masa molar	297,83 g/mol
Punto de fusión	2,3 °C (275 K)
Punto de ebullición	17,1 °C (290 K)
Presión de vapor	113,2 kPa (20 °C)
Peligrosidad
Frases R	R26,R35
Frases S	S9,S26,S36/37/39,S45
Valores en el SI y en condiciones estándar (25 ℃ y 1 atm), salvo que se indique lo contrario.
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El fluoruro de wolframio(VI), también conocido como hexafluoruro de wolframio o hexafluoruro de tungsteno, es un compuesto inorgánico de wolframio y flúor de fórmula WF₆. Es un compuesto corrosivo, en condiciones estándar es un gas incoloro con una densidad aproximada de 12.6 g/L (unas 11 veces más denso que el aire.^[2]​^[3]​^[4]​), el WF₆ es uno de los gases conocidos más pesados bajo condiciones estándar.^[5]​ El WF₆ se emplea habitualmante en la producción de circuitos de semiconductores y placas de circuito a través del proceso de deposición química de vapor – después su descomposición, las moléculas de WF₆ dejar un residuo de wolframio metálico. Esta capa sirve para disminuir la resistencia metálica de "interconexión".^[6]​

1. ↑ Número CAS
2. ↑ Roucan, J.-P.; Noël-Dutriaux, M.-C. Proprietes Physiques des Composes Mineraux. Ed. Techniques Ingénieur. p. 138. 
3. ↑ Gas chart
4. ↑ «Tungsten Hexafluoride MSDS» (pdf).  (enlace roto disponible en Internet Archive; véase el historial, la primera versión y la última).
5. ↑ Erik Lassner, Wolf-Dieter Schubert (1999). Tungsten: Properties, Chemistry, Technology of the Element, Alloys, and Chemical Compounds. Springer. pp. 111, 168. ISBN 0-306-45053-4. 
6. ↑ «Tungsten and Tungsten Silicide Chemical Vapor Deposition». CVD Fundamentals. TimeDomain CVD.